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                          東方科技論壇“集成電路關鍵材料的現狀及解決方案”研討會召開

                          2021-11-12 上海硅酸鹽研究所
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                            近日,第356期東方科技論壇“集成電路關鍵材料的現狀及解決方案”在中國科學院上海分院舉辦。此次論壇由上海市人民政府、中科院和中國工程院主辦,中科院上海硅酸鹽研究所、上海有機化學研究所和上海微系統與信息技術研究所聯合承辦。

                            上海有機所研究員沈其龍、上海微系統所研究員俞文杰、上海硅酸鹽所研究員劉學建共同擔任會議執行主席。

                            會上,上海分院院長胡金波致辭,表示期望本次論壇能緊緊圍繞集成電路中關鍵材料研發的挑戰與難點,集思廣益,攻堅克難,為保障國家安全和國民經濟發展貢獻力量。劉學建和上海硅酸鹽所副研究員姜大朋分別以“光刻機用先進陶瓷材料研究進展”和“光刻機物鏡系統及掩膜臺用關鍵光學材料研究”為題做了報告,介紹研究所在光刻機關鍵核心材料的研制和應用方面的進展。參會專家就如何解決集成電路關鍵材料的研發問題進行了學術分享和討論。 

                            上海分院、上海微系統所、上海硅酸鹽所相關負責人以及來自科研院所、高校、化工及半導體企業等14家單位的60余位嘉賓和專家參加了本次論壇。 

                          打印 責任編輯:江澄

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